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超低氮燃燒器主要由送風系統，氣路系統，煙氣回流系統和電源控制系統四部分組成。熱力型NOx生成很大程度上取決于燃燒溫度，燃燒溫度的降低可以通過在火焰區域加入煙氣來實現，加入的煙氣吸熱從而降低了燃燒溫度，通過將煙氣的燃燒產物加入到燃燒區域內，不僅降低了燃燒溫度，減少了NOx生成；同時加入的煙氣降低了氧氣的含量，這將減弱氧氣與氮氣生成熱力型NOx的過程，從而減少氧化氮的生成。根據應用原理的不同，煙氣再循環分為外部煙氣再循環和內部煙氣再循環兩種。煙氣內循環采用分級分段燃燒技術，煙氣外循環則是全預混表面燃燒，達到NOx排放<30mg的目的。